Сканирующий зондовый микроскоп

Перейти к навигацииПерейти к поиску
Исследование шероховатой поверхности образца с помощью наноэдьюкатора. В отличие от сканирующего туннельного микроскопа, с помощью атомно-силового микроскопа можно исследовать как проводящие, так и непроводящие поверхности.

Сканирующие зондовые микроскопы (СЗМ, англ. SPM — scanning probe microscope) — класс микроскопов для получения изображения поверхности и её локальных характеристик. Процесс построения изображения основан на сканировании поверхности зондом. В общем случае позволяет получить трёхмерное изображение поверхности (топографию) с высоким разрешением. Сканирующий зондовый микроскоп в современном виде изобретен (принципы этого класса приборов были заложены ранее другими исследователями) Гердом Карлом Биннигом и Генрихом Рорером в 1981 году. За это изобретение были удостоены Нобелевской премии по физике в 1986 году, которая была разделена между ними и изобретателем просвечивающего электронного микроскопа Э. Руска. Отличительной особенностью СЗМ является наличие:

  • зонда,
  • системы перемещения зонда относительно образца по 2-м (X-Y) или 3-м (X-Y-Z) координатам,
  • регистрирующей системы.

Регистрирующая система фиксирует значение функции, зависящей от расстояния зонд-образца. Обычно регистрируемое значение обрабатывается системой отрицательной обратной связи, которая управляет положением образца или зонда по одной из координат (Z). В качестве системы обратной связи чаще всего используется ПИД-регулятор.

Основные типы сканирующих зондовых микроскопов:

Принцип работы

Схема работы атомно-силового микроскопа

Работа сканирующего зондового микроскопа основана на взаимодействии поверхности образца с зондом (кантилевер, игла или оптический зонд). При малом расстоянии между поверхностью и зондом действие сил взаимодействия (отталкивания, притяжения, и других сил) и проявление различных эффектов (например, туннелирование электронов) можно зафиксировать с помощью современных средств регистрации. Для регистрации используют различные типы сенсоров, чувствительность которых позволяет зафиксировать малые по величине возмущения. Для получения полноценного растрового изображения используют различные устройства развертки по осям X и Y (например, пьезотрубки, плоскопараллельные сканеры).

Основные технические сложности при создании сканирующего зондового микроскопа:

  • Конец зонда должен иметь размеры, сопоставимые с исследуемыми объектами.
  • Обеспечение механической (в том числе тепловой и вибрационной) стабильности на уровне лучше 0,1 ангстрема.
  • Детекторы должны надежно фиксировать малые по величине возмущения регистрируемого параметра.
  • Создание прецизионной системы развёртки.
  • Обеспечение плавного сближения зонда с поверхностью.

Особенности работы

Схема работы сканирующего туннельного микроскопа
Кантилевер атомно-силового микроскопа (СЭМ изображение, увеличение 1000×)
Сканирующий туннельный микроскоп (СТМ) — для получения изображения используется туннельный ток между зондом и образцом, что позволяет получить информацию о топографии и электрических свойствах образца. Атомно-силовой микроскоп (АСМ) — регистрирует различные силы между зондом и образцом. Позволяет получить топографию поверхности и её механические свойства. Сканирующий ближнепольный микроскоп (СБОМ) — для получения изображения используется эффект ближнего поля

В настоящий момент в большинстве исследовательских лабораторий сканирующая зондовая и электронная микроскопия используются как дополняющие друг друга методы исследования в силу ряда физических и технических особенностей.

В сравнении с растровым электронным микроскопом (РЭМ) сканирующий зондовый микроскоп обладает рядом преимуществ. Так, в отличие от РЭМ, который даёт псевдотрёхмерное изображение поверхности образца, СЗМ позволяет получить истинно трёхмерный рельеф поверхности. Кроме того, в общем случае сканирующий зондовый микроскоп позволяет получать изображение как проводящей, так и непроводящей поверхности, тогда как для изучения непроводящих объектов с помощью РЭМ необходимо металлизировать поверхность. Для работы с РЭМ необходим вакуум, в то время как большая часть режимов СЗМ предназначена для исследований на воздухе, в вакууме и жидкости. Благодаря этому, с помощью СЗМ возможно изучать материалы и биологические объекты в нормальных для этих объектов условиях. Например, изучение биомакромолекул и их взаимодействий, живых клеток. В принципе, СЗМ способен дать более высокое разрешение, чем РЭМ. Так, было показано, что СЗМ в состоянии обеспечить реальное атомное разрешение в условиях сверхвысокого вакуума при отсутствии вибраций. Сверхвысоковакуумный СЗМ по разрешению сравним с просвечивающим электронным микроскопом.

К недостатку СЗМ при его сравнении с РЭМ также следует отнести небольшой размер поля сканирования. РЭМ в состоянии просканировать область поверхности размером в несколько миллиметров в латеральной плоскости с перепадом высот в несколько миллиметров в вертикальной плоскости. У СЗМ максимальный перепад высот составляет несколько микрометров, как правило, не более 25 мкм, а максимальное поле сканирования в лучшем случае — порядка 150×150 микрометров. Другая проблема заключается в том, что качество изображения определяется радиусом кривизны кончика зонда, что при неправильном выборе зонда или его повреждении приводит к появлению артефактов на получаемом изображении. При этом подготовка образцов для СЗМ занимает меньше времени, чем для РЭМ.

Обычный СЗМ не в состоянии сканировать поверхность так же быстро, как это делает РЭМ. Для получения СЗМ-изображения требуется от нескольких минут до нескольких часов, в то время как РЭМ после откачки способен работать практически в реальном масштабе времени, хотя и с относительно невысоким качеством. Из-за низкой скорости развёртки СЗМ получаемые изображения оказываются искажёнными тепловым дрейфом[1][2][3], что уменьшает точность измерения элементов сканируемого рельефа. Для увеличения быстродействия СЗМ было предложено несколько конструкций[4][5], среди которых можно выделить зондовый микроскоп, названный видеоАСМ. ВидеоАСМ обеспечивает получение удовлетворительного качества изображений поверхности с частотой телевизионной развёртки, что даже быстрее, чем на обычном РЭМ. Однако, применение ВидеоАСМ ограничено, так как он работает только в контактном режиме и на образцах с относительно небольшим перепадом высот. Для коррекции вносимых термодрейфом искажений было предложено несколько способов.[1][2][3]

Нелинейность, гистерезис[6] и ползучесть (крип) пьезокерамики сканера также являются причинами сильных искажения СЗМ-изображений. Кроме того, часть искажений возникает из-за взаимных паразитных связей, действующих между X, Y, Z-манипуляторами сканера. Для исправления искажений в реальном масштабе времени современные СЗМ используют программное обеспечение (например, особенность-ориентированное сканирование[1][7]) либо сканеры, снабжённые замкнутыми следящими системами, в состав которых входят линейные датчики положения. Некоторые СЗМ вместо сканера в виде пьезотрубки используют XY и Z-элементы, механически несвязанные друг с другом, что позволяет исключить часть паразитных связей. Однако в определённых случаях, например, при совмещении с электронным микроскопом или ультрамикротомами, конструктивно оправдано использование именно сканеров на пьезотрубках.

Обработка полученной информации и восстановление полученных изображений

Пример СЗМ-скана: споры аспергилла, выращенного на чайной культуре на стеклянной подложке

Как правило, снятое на сканирующем зондовом микроскопе изображение трудно поддается расшифровке из-за присущих данному методу искажений. Практически всегда результаты первоначального сканирования подвергаются математической обработке. Для этого используется программное обеспечение, непосредственно поставляемое с СЗМ. Существует и программное обеспечение, распространяемое по GNU лицензии. Например, Gwyddion[8]

Современное состояние и развитие сканирующей зондовой микроскопии

В настоящее время сканирующие зондовые микроскопы нашли применение практически во всех областях науки. В физике, химии, биологии используют в качестве инструмента исследования СЗМ. В частности, такие междисциплинарные науки, как материаловедение, биохимия, фармацевтика, нанотехнологии, физика и химия поверхности, электрохимия, исследование коррозии, электроника (например, МЭМС), фотохимия и многие другие. Перспективным направлением считается совмещение сканирующих зондовых микроскопов с другими традиционными и современными методами исследований, а также создание принципиально новых приборов. Например, совмещение СЗМ с оптическими микроскопами (традиционными и конфокальными микроскопами)[9][10][11], электронными микроскопами[12], спектрометрами (например, спектрометрами комбинационного (рамановского) рассеяния и флюоресцентными)[13][14][15], ультрамикротомами[16].

Производители СЗМ в России и СНГ в алфавитном порядке

АНО «Институт нанотехнологий МФК»

Институт нанотехнологий Международного фонда конверсии .[17] — российская некоммерческая научно-технническая компания, работающая в сфере создания нанотехнологического лабораторного оборудования с 1996 года. Среди выпускаемого в настоящее время оборудования — нанотехнологический комплекс «Умка» .[18] на базе сканирующего туннельного микроскопа (СТМ), позволяющего исследовать как проводящие, так и слабопроводящие материалы. В комплекс также входит установка для заточки зондов СТМ[19].

ООО «АИСТ-НТ»

ООО «АИСТ-НТ» — российская компания, созданная в Зеленограде в 2007 году группой разработчиков, вышедших из ЗАО «NT-MDT». Занимается производством сканирующих зондовых микроскопов.[20]

ООО «Нано Скан Технология»

ООО «Нано Скан Технология» — компания, основанная в Долгопрудном в 2007 году. Специализируется на разработке и производстве сканирующих зондовых микроскопов и комплексов на их основе для научных исследований и образования.[21] В настоящее время компания разработала и производит 2 модели сканирующих зондовых микроскопов исследовательского класса и 4 научно-исследовательских комплекса на основе СЗМ. Научно-исследовательские комплексы, производимой этой компанией, включают в себя СЗМ, оптическое и спектральное оборудование для комплексных исследований свойств объектов изучения.

ООО «НТ-СПб»

ООО «НТ-СПб» — компания, созданная в Санкт-Петербурге на основе лаборатории Зондовой микроскопии Института аналитического приборостроения РАН и с 2003 года работает на рынке нанотехнологического оборудования и в настоящее время компания является резидентом Технопарка Университета ИТМО. Предложенный и произведенный в «НТ-СПб» учебный зондовый микроскоп завоевал большую популярность в России и за рубежом. Компания занимается производством сканирующих зондовых микроскопов, а также образовательной деятельностью в школах, ВУЗах и технопарках. В настоящее время компания предлагает:

  • Учебно-образовательный комплекс NanoTutor.
  • СЗМ модуль для оптического микроскопа MicProbe.
  • СЗМ для электронного микроскопа ProBeam.
  • Дополнительное оборудование и аксессуары для СЗМ.

«Микротестмашины», Белоруссия

Компания, производящая оборудование для научных исследований, в том числе одну модель сканирующего зондового микроскопа. [22]

ЗАО «NT-MDT»

ЗАО «NT-MDT» — российская компания, созданная в Зеленограде в 1989 году. Занимается производством сканирующих зондовых микроскопов для образования, научных исследований и мелкосерийного производства.[23] В настоящее время компания производит 4 модельных ряда, а также широкий ассортимент аксессуаров и расходных материалов: кантилеверы, калибровочные решетки, тестовые образцы.

«Технологический институт сверхтвёрдых и новых углеродных материалов» (ФГБНУ ТИСНУМ), Россия

ФГБНУ ТИСНУМ.

  • Разработка и развитие новых подходов к измерению физико-механических свойств материалов на наномасштабах.
  • Создание оригинальных измерительных методик и приборов.
  • Производство сканирующих нанотвердомеров серии «НаноСкан», сочетающих возможности классических наноинденторов и сканирующих зондовых микроскопов, имеющих ряд дополнительных уникальных возможностей.
  • Производство наноинденторов.

ООО НПП «Центр перспективных технологий»

ООО НПП «Центр перспективных технологий» — российское предприятие, работающее в области нанотехнологий. Создано в 1990 г. Специализируется на производстве сканирующих зондовых микроскопов «ФемтоСкан», атомных весов и аксессуаров, а также на разработке программного обеспечения.[24] Является первой компанией, предложившей комплекс программного обеспечения для управления сканирующим зондовым микроскопом через Интернет.

См. также

Примечания

  1. ↑ 1 2 3 R. V. Lapshin. Feature-oriented scanning methodology for probe microscopy and nanotechnology (англ.) // Nanotechnology : journal. — UK: IOP, 2004. — Vol. 15, no. 9. — P. 1135—1151. — ISSN 0957-4484. — doi:10.1088/0957-4484/15/9/006. Архивировано 9 сентября 2013 года.
  2. ↑ 1 2 R. V. Lapshin. Automatic drift elimination in probe microscope images based on techniques of counter-scanning and topography feature recognition (англ.) // Measurement Science and Technology[англ.] : journal. — UK: IOP, 2007. — Vol. 18, no. 3. — P. 907—927. — ISSN 0957-0233. — doi:10.1088/0957-0233/18/3/046. Архивировано 9 сентября 2013 года.
  3. ↑ 1 2 V. Y. Yurov, A. N. Klimov. Scanning tunneling microscope calibration and reconstruction of real image: Drift and slope elimination (англ.) // Review of Scientific Instruments[англ.] : journal. — USA: AIP, 1994. — Vol. 65, no. 5. — P. 1551—1557. — ISSN 0034-6748. — doi:10.1063/1.1144890. Архивировано 13 июля 2012 года.
  4. ↑ G. Schitter, M. J. Rost. Scanning probe microscopy at video-rate (англ.) // Materials Today[англ.] : journal. — UK: Elsevier, 2008. — No. special issue. — P. 40—48. — ISSN 1369-7021. — doi:10.1016/S1369-7021(09)70006-9. Архивировано 9 сентября 2009 года.
  5. ↑ R. V. Lapshin, O. V. Obyedkov. Fast-acting piezoactuator and digital feedback loop for scanning tunneling microscopes (англ.) // Review of Scientific Instruments[англ.] : journal. — USA: AIP, 1993. — Vol. 64, no. 10. — P. 2883—2887. — ISSN 0034-6748. — doi:10.1063/1.1144377. Архивировано 9 сентября 2013 года.
  6. ↑ R. V. Lapshin. Analytical model for the approximation of hysteresis loop and its application to the scanning tunneling microscope (англ.) // Review of Scientific Instruments[англ.] : journal. — USA: AIP, 1995. — Vol. 66, no. 9. — P. 4718—4730. — ISSN 0034-6748. — doi:10.1063/1.1145314. Архивировано 9 сентября 2013 года. (имеется перевод на русский Архивная копия от 9 сентября 2013 на Wayback Machine).
  7. ↑ R. V. Lapshin. Encyclopedia of Nanoscience and Nanotechnology (англ.) / H. S. Nalwa. — USA: American Scientific Publishers, 2011. — Vol. 14. — P. 105—115. — ISBN 1-58883-163-9. Архивировано 9 сентября 2013 года.
  8. ↑ Свободное программное обеспечение для обработки СЗМ изображений. Дата обращения: 15 февраля 2020. Архивировано из оригинала 29 сентября 2014 года.
  9. ↑ Комплекс для исследований в области биологии и материаловедения, сочетающий в себе СЗМ и оптический микроскоп. Дата обращения: 16 февраля 2010. Архивировано 28 марта 2010 года.
  10. ↑ Комплекс для исследований на основе прямого или инвертированного микроскопа, сочетающий в себе СЗМ и оптический микроскоп. Дата обращения: 7 марта 2010. Архивировано 25 февраля 2010 года.
  11. ↑ Комплекс для исследований в области биологии, сочетающий в себе СЗМ и оптический микроскоп. Дата обращения: 17 февраля 2010. Архивировано из оригинала 4 марта 2010 года.
  12. ↑ Комплекс для исследований, совмещающий электронный и сканирующий зондовый микроскопы (недоступная ссылка)
  13. ↑ Комплекс на основе СЗМ, оптического микроскопа и спектрометра. Дата обращения: 7 марта 2010. Архивировано 9 апреля 2010 года.
  14. ↑ Комплекс СЗМ с конфокальным рамановским и флюоресцентным спектрометром (недоступная ссылка)
  15. ↑ Исследовательский комплекс, совмещающий СЗМ, спектрометры и оптический микроскоп. Дата обращения: 7 марта 2010. Архивировано 25 февраля 2010 года.
  16. ↑ АСМ, установленный в криоультрамикротом. Дата обращения: 7 марта 2010. Архивировано из оригинала 14 октября 2010 года.
  17. ↑ Официальный сайт ИНАТ МФК. Дата обращения: 8 сентября 2010. Архивировано 10 июля 2010 года.
  18. ↑ Описание НТК «УМКА». Дата обращения: 8 сентября 2010. Архивировано 1 июля 2010 года.
  19. ↑ Описание установки для заточки зондов. Дата обращения: 8 сентября 2010. Архивировано 3 июля 2010 года.
  20. ↑ Официальный сайт ООО «АИСТ-НТ». Дата обращения: 7 марта 2010. Архивировано 22 августа 2010 года.
  21. ↑ Официальный сайт ООО «Нано Скан Технология». Дата обращения: 28 марта 2010. Архивировано 18 февраля 2011 года.
  22. ↑ Microtestmachines Co. ::: SPM NT-206. Дата обращения: 13 мая 2010. Архивировано 7 мая 2008 года.
  23. ↑ Официальный сайт ЗАО «Нанотехнология МДТ». Дата обращения: 17 февраля 2010. Архивировано 24 марта 2010 года.
  24. ↑ Официальный сайт ООО НПП «Центр перспективных технологий». Дата обращения: 17 февраля 2010. Архивировано 4 марта 2010 года.

Литература

  • R. Wiesendanger, Scanning Probe Microscopy and Spectroscopy, Cambridge Universtiy Press, Cambridge (1994)
  • D. Sarid, Scanning Force Microscopy, Oxford Series in Optical and Imaging Sciences, Oxford University Press, New York (1991)
  • R. Dagani, Individual Surface Atoms Identified, Chemical & Engineering News, 5 March 2007, page 13. Published by American Chemical Society
  • Q. Zhong, D. Innis, K. Kjoller, V. B. Elings, Surf. Sci. Lett. 290, L688 (1993).
  • V. J. Morris, A. R. Kirby, A. P. Gunning, Atomic Force Microscopy for Biologists. (Book) (December 1999) Imperial College Press.
  • J. W. Cross SPM — Scanning Probe Microscopy Website
  • P. Hinterdorfer, Y. F. Dufrêne, Nature Methods, 3, 5 (2006)
  • F. Giessibl, Advances in Atomic Force Microscopy, Reviews of Modern Physics 75 (3), 949—983 (2003).
  • R. H. Eibl, V.T. Moy, Atomic force microscopy measurements of protein-ligand interactions on living cells. Methods Mol Biol. 305:439-50 (2005)
  • P. M. Hoffmann, A. Oral, R. A. Grimble, H. Ö. Özer, S. Jeffery, J. B. Pethica, Proc. Royal Soc. A 457, 1161 (2001).
  • Eibl RH, First measurement of physiologic VLA-4 activation by SDF-1 at the single-molecule level on a living cell. In: Advances in Single Molecule Research for Biology and Nanoscience. Hinterdorfer P, Schuetz G, Pohl P (Editors),Trauner, ISBN (2007).
  • West P, Introduction to Atomic Force Microscopy: Theory, Practice and Applications — www.AFMUniversity.org
  • Суслов А. А., Чижик С. А. Сканирующие зондовые микроскопы (обзор) // Материалы, Технологии, Инструменты — Т.2 (1997), № 3, С. 78-89

Ссылки