Сульфурѝлфтори́д — неорганическое соединение серы(VI), кислорода и фтора с формулой SO2F2 (может рассматриваться как оксофторид серы). Бесцветный газ (при нормальных условиях) без запаха. Молекула сульфурилфторида имеет конфигурацию искажённого тетраэдра, с расположенным в центре шестивалентным атомом серы.
Фторид кремния(IV) (кремний четырёхфтористый, тетрафторид кремния, тетрафторсилан) — бинарное неорганическое соединение кремния и фтора с формулой SiF4, бесцветный ядовитый газ, легко гидролизуется водой, растворяется в органических растворителях.
Ортосиликат циркония(IV) — неорганическое соединение, соль металла циркония и кремневой кислоты с формулой ZrSiO4, бесцветные кристаллы, не растворимые в воде. Встречается в природе как минерал циркон.
Гексахлоростаннат(IV) калия — неорганическое соединение, комплексный хлорид металлов олова и калия с формулой K2[SnCl6], бесцветные кристаллы, растворимые в воде с гидролизом.
Моносилан — бинарное неорганическое соединение кремния и водорода с формулой SiH4, бесцветный газ с неприятным запахом, самовоспламеняется на воздухе, реагирует с водой, ядовит.
Дисилан — бинарное неорганическое соединение кремния и водорода с формулой Si2H6, бесцветный газ с неприятным запахом, самовоспламеняется на воздухе, реагирует с водой, ядовит.
Гексабромид дикремния — неорганическое соединение, бромпроизводное дисилана с формулой Si2Br6, бесцветные кристаллы, гидролизуется водой.
Гексахлори́д дикре́мния — неорганическое соединение, хлорпроизводное дисилана с формулой Si2Cl6, бесцветная жидкость, гидролизуется водой.
Октахлорид трикремния — бинарное неорганическое соединение хлора и кремния, хлорпроизводное трисилана с формулой Si3Cl8, один из хлоридов кремния, бесцветная жидкость, гидролизуется водой.
Фторид кремния(II) — бинарное неорганическое соединение кремния и фтора c формулой SiF2, устойчивое при низких температурах, при нагревании выше −80 °С полимеризуется до (SiF2)n — бесцветное вещество, самовоспламеняется на воздухе.
Силилфосфин — неорганическое соединение, кремниевый аналог метилфосфина с формулой SiH3PH2, бесцветный газ, самовоспламеняется на воздухе.
Тетраметоксисилан — химическое соединение, сложный эфир ортокремнёвой кислоты и метилового спирта с формулой Si(OCH3)4, бесцветная жидкость, не растворяется в воде, медленно гидролизуется, токсичен.
Тетраизоцианат кремния — неорганическое соединение, соль кремния и изоциановой кислоты с формулой Si(NCO)4, бесцветные кристаллы, гидролизуется водой.
Гексаметилдисилан — органическое соединение, алкилпроизводное дисилана с формулой (CH3)3Si-Si(CH3)3, бесцветная жидкость.
Триметилсилилизоцианат — химическое соединение, алкил- и изоцианопроизводное моносилана с формулой (CH3)3SiNCO, бесцветная жидкость с резким запахом.
Диметилсилилдиизоцианат — химическое соединение, алкил- и изоцианопроизводное моносилана с формулой (CH3)2Si(NCO)2, бесцветная жидкость с резким запахом.
Гексаметилдисилазан — химическое соединение, алкил- и аминопроизводное моносилана с формулой [(CH3)3Si]2NH, бесцветная жидкость c резким запахом, быстро гидролизуется водой.
N-Метилгексаметилдисилазан — химическое соединение, алкил- и аминопроизводное моносилана с формулой [(CH3)3Si]2NCH3, бесцветная жидкость c резким запахом, быстро гидролизуется водой.
Фтори́д-хлори́д сульфури́ла — неорганическое соединение, хлоро-фтороангидрид серной кислоты с формулой SO2ClF, бесцветная жидкость или газ, разлагается в воде.
Хлорид α-сульфанура — неорганическое соединение, серы, кислорода, азота и хлора с формулой [OS(N)Cl]3, бесцветные кристаллы, не растворяется в воде.
