
Нанотрубка, иначе тубулярная наноструктура; нанотубулен — топологическая форма наночастиц в виде полого наностержня.
- Углеродные нанотрубки — цилиндрические кристаллы, состоящие из одних лишь атомов углерода. Внешне выглядят как свёрнутая в цилиндр графитовая плоскость. Благодаря тому, что удельная проводимость соизмерима с проводимостью металла, а максимальная плотность тока — в десятки раз выше, чем у металла, углеродные нанотрубки рассматриваются как замена металлическим проводникам в микросхемах новых поколений.
- Нитрид-борные нанотрубки — аналогичны углеродным нанотрубкам по строению, но состоят из соединения NB.
- Неуглеродная нанотрубка — полая квазиодномерная структура диаметром от 5 до 100 нм на основе неорганических веществ и материалов.
- Неорганическая нанотрубка — полая квазиодномерная структура диаметром от 5 до 100 нм на основе неорганических веществ и материалов.

Нанотехноло́гия — область фундаментальной и прикладной науки и техники, включающая теоретическое обоснование, практические методы исследования, анализа и синтеза, а также методы производства и применения продуктов с заданной атомной структурой путём контролируемого манипулирования отдельными атомами и молекулами.

Наноэлектроника — область электроники, занимающаяся разработкой физических и технологических основ создания интегральных электронных схем с характерными топологическими размерами элементов менее 100 нанометров.

Ким Эрик Дрекслер — американский учёный, инженер, известный популяризатор нанотехнологий. Автор концепции нанотехнологического механосинтеза, первый теоретик создания молекулярных нанороботов, концепции «серой слизи».

Гетероэпитаксия — вид эпитаксии, когда растущий слой отличается по химическому составу от вещества подложки. Процесс возможен только для химически не взаимодействующих веществ: например, так изготавливают интегральные преобразователи со структурой кремний на сапфире.
«Словарь нанотехнологических и связанных с нанотехнологиями терминов» (СНТ) — терминологическое междисциплинарное однотомное энциклопедическое издание на русском языке, представленное как в виде книги, так и в электроном виде. Проект развивается и является первым российским профессиональным словарём, связанным с нанотехнологиями, согласно заявлению его редакции, аналогичных словарей в мире пока не существует.
Ионно-трековая технология — метод формирования в твёрдых веществах и материалах узких каналов (треков), путём облучения (бомбардировки) частицами или тяжёлыми ионами.

Нанопечатная литография — технология, предназначенная для переноса изображения наноструктуры или электронной схемы на подложку с покрытием и включающая деформацию покрытия штампом с последующим травлением деформированного покрытия и формированием на подложке наноструктуры или элементов электронной схемы.
Ио́нно-лучева́я литогра́фия — технология изготовления электронных микросхем, использующая литографический процесс с экспонированием (облучением) резиста ионными пучками нанометрового сечения.
Дифракционное определение среднего размера областей когерентного рассеяния — косвенный метод определения среднего размера малых частиц по уширению дифракционных отражений при уменьшении размера частиц (зёрен) компактных и порошкообразных наноструктурированных веществ и материалов.

Компактирование нанопорошков — принудительное уплотнение наноструктурированных материалов различными методами: холодным статическим прессованием с односторонним или двусторонним приложением давления; горячим аксиальным прессованием; холодным или горячим изостатическим прессованием в гидро- или газостатах; магнитно-импульсным, ударным, взрывным и ультразвуковым прессованием и другими.
Ультразвуковое прессование нанопорошков — метод сухого холодного компактирования керамических нанопорошков без применения пластификаторов.
Магнитная наноструктура — искусственная гетероструктура, обладающая гигантским или туннельным магнетосопротивлением и представляющая собой многослойную плёнку из чередующихся слоёв ферромагнитного и немагнитного материала.
Спонтанно упорядоченные наноструктуры — периодические пространственно упорядоченные наноструктуры, спонтанно формирующиеся на поверхности твёрдых тел и в эпитаксиальных плёнках в процессах роста или отжига.
Нанобиотехнология — область науки на стыке биологии и нанотехнологии, которая охватывает широкий круг технологических подходов, включая: применение нанотехнологических устройств и наноматериалов в биотехнологии; использование биологических молекул для нанотехнологических целей; создание биотехнологических продуктов, свойства которых определяются размерными характеристиками ; использование биотехнологических подходов, в основе которых лежит принцип контролируемой самоорганизации наноструктур.
Осаждение из коллоидных растворов — метод получения изолированных наночастиц и нанопорошков, заключающийся в прерывании химической реакции между компонентами раствора, например, скачкообразным увеличением pH раствора в определенный момент времени, после чего система переходит из жидкого коллоидного состояния в дисперсное твердое состояние.
Нанотехнология типа «сверху вниз» — технология получения наноструктурированных материалов, в которой нанометровый размер частиц достигается с помощью измельчения более крупных частиц, порошков или зёрен твёрдого тела.
Нанотехнология типа «снизу вверх» — технология получения наноструктурированных материалов, в которой реализуется образование наночастиц из атомов и молекул, т. е. достигается укрупнение исходных элементов структуры до частиц нанометрового размера.
Спиннингование (англ. melt spinning technique) — способ получения аморфных металлических сплавов в виде тонких лент путём сверхбыстрого (со скоростью > 106 K/сек) охлаждения расплава на поверхности вращающегося холодного диска или барабана.
Атомное (атомно-вакансионное) упорядочение — метод формирования наноструктуры в компактных и дисперсных твёрдых растворах (сплавах) и нестехиометрических соединениях, основанный на использовании структурного фазового перехода «беспорядок-порядок», являющегося результатом перераспределения взаимозамещаемых компонентов по узлам кристаллической решётки твёрдого раствора замещения.