Физи́ческая хи́мия — раздел химии, наука об общих законах строения, структуры и превращения химических веществ. Исследует химические явления с помощью теоретических и экспериментальных методов физики. Наиболее обширный раздел химии.
Индукти́вно-свя́занная пла́зма (ИСП), англ. inductively coupled plasma, ICP — плазма, образующаяся внутри разрядной камеры, горелки или иного плазменного реактора при приложении высокочастотного переменного магнитного поля.
Пла́зма — ионизированный газ, одно из четырёх классических агрегатных состояний вещества.
Химия высоких энергий — раздел физической химии, описывающий химические и физико-химические процессы, происходящие в веществе при воздействии нетепловыми энергетическими агентами — ионизирующим излучением, светом, плазмой, ультразвуком, механическим ударом и другими.
Плазмотро́н — техническое устройство, в котором при протекании электрического тока через разрядный промежуток образуется плазма, используемая для обработки материалов или как источник света и тепла. Буквально, плазмотрон означает — генератор (производитель) плазмы.
Ла́зерная абля́ция — метод удаления вещества с поверхности лазерным импульсом. При низкой мощности лазера вещество испаряется или сублимируется в виде свободных молекул, атомов и ионов, то есть над облучаемой поверхностью образуется слабая плазма, обычно в данном случае тёмная, не светящаяся. При плотности мощности лазерного импульса, превышающей порог режима абляции, происходит микро-взрыв с образованием кратера на поверхности образца и светящейся плазмы вместе с разлетающимися твёрдыми и жидкими частицами (аэрозоля). Режим лазерной абляции иногда также называется лазерной искрой.
Плазменная обработка — процесс обработки материалов при помощи низкотемпературной плазмы, генерируемой дуговыми или высокочастотными плазмотронами, с целью изменения формы, размеров, структуры обрабатываемого материала или состояния его поверхностного слоя. Разновидностями плазменной обработки являются: разделительная и поверхностная резка, нанесение покрытий, напыление, сварка.
Озонатор — устройство для получения озона (O3). Озон является аллотропной модификацией кислорода, содержащей в молекуле три атома кислорода. В большинстве случаев исходным веществом для синтеза озона выступает молекулярный кислород (O2), а сам процесс описывается уравнением 3O2 → 2O3. Эта реакция является эндотермичной и легко обратимой. Поэтому на практике применяются меры, способствующие максимальному смещению её равновесия в сторону целевого продукта.
Хими́ческое осажде́ние из га́зовой фа́зы (ХОГФ) — процесс, используемый для получения высокочистых твёрдых материалов. Процесс часто используется в индустрии полупроводников для создания тонких плёнок. Как правило, при процессе CVD подложка помещается в пары одного или нескольких веществ, которые, вступая во взаимные реакции и/или разлагаясь, формируют на поверхности подложки слой необходимого вещества. Побочно часто образуется также газообразные продукты реакции, выносимые из камеры осаждения потоком газа-носителя.
Государственное научное учреждение «Институт тепло- и массообмена имени А. В. Лыкова» Национальной академии наук Беларуси — один из крупных научно-исследовательских институтов Беларуси.
Плазменно-химическое осаждение из газовой фазы сокр., ПХО; ПХГФО иначе плазмохимическое газофазное осаждение; осаждение из паровой фазы стимулированное плазмой — процесс химического осаждения тонких плёнок из паровой фазы при низком давлении с использованием высокочастотной плазмы.
Алекса́ндр Ива́нович Макси́мов — советский и российский физикохимик. Создатель научной школы физической химии гетерогенных плазмохимических процессов и плазменных технологий для текстильной и легкой промышленности. Доктор химических наук, профессор, главный научный сотрудник Института Химии Растворов им. Г. А. Крестова Российской Академии Наук. Заслуженный деятель науки Российской Федерации, действительный член Академии инженерных наук им. А. М. Прохорова, лауреат премии Правительства Российской Федерации в области науки и техники.
Исто́чники пла́змы - устройства, предназначенные для создания плазмы. Создание плазмы требует по меньшей мере частичной ионизации нейтральных атомов и/или молекул среды. В технике, как правило, для создания плазмы используются те или иные виды газового разряда.
Реакти́вное ио́нное травле́ние (РИТ) — технология удаления материала с поверхности подложки (травление), используемая в микроэлектронике, где химически активная плазма используется для удаления материала с подложки.
Ильда́р Шаука́тович Абду́ллин — советский, российский физик; специалист в области физики и химии плазмы, исследования неравновесной низко температурной плазмы и её взаимодействия с материалами различной физической природы. Под его руководством выполнены фундаментальные и прикладные исследования по упрочению и модификации поверхности материалов и их сплавов с помощью обработки неравновесной низко температурной плазмой, создаваемой с помощью высокочастотных разрядов понеженного давления, в том числе по приданию поверхностям материалов биостойкости и биосовместимости. Разработан не имеющий в мировой практике аналогов способ создания наноструктурных диффузионных алмазоподобных плазменных покрытий на твердосплавленных сплавах.
Владимир Дмитриевич Русанов — учёный-физикохимик, специалист в области плазменных процессов, мембранных технологий получения водорода. Действительный член Российской академии наук (1992). Директор отделения Российского научного центра «Курчатовский институт».
Плазма атмосферного давления - плазма, генерируемая при атмосферном или близком к нему давлении.
Финишное плазменное упрочнение (ФПУ) — безвакуумный и бескамерный процесс плазмоструйного осаждения покрытий из газовой фазы с одновременной плазменной активацией газового потока и напыляемой поверхности детали.
Плазмохимический синтез нанопорошков — химический метод получения высокодисперсных порошков нитридов, карбидов, боридов и оксидов, заключающийся в протекании реакции в низкотемпературной плазме вдали от равновесия при высокой скорости образования зародышей новой фазы и малой скорости их роста.
Лев Соломо́нович По́лак (1908—2002) — советский и российский физик и историк науки, доктор физико-математических наук, профессор. Работы в области физики, истории физики, химической физики, ядерной геофизики. Основал отечественную школу плазмохимии. Заслуженный деятель науки и техники РСФСР, лауреат Государственной премии СССР (1985).