Трифтори́д азо́та — бинарное неорганическое соединение азота и фтора с формулой 
, бесцветный ядовитый тяжёлый газ, негорюч, вызывает коррозию металлов, имеет характерный затхлый запах плесени, плохо растворяется в воде.
Фтори́д хло́ра(V) (пентафтори́д хло́ра, пятифто́ристый хлор) — ClF5, соединение хлора с фтором, представляющее собой при комнатной температуре бесцветный ядовитый тяжёлый газ с сильным раздражающим запахом. Конденсируется при охлаждении до −13 °C (или при увеличении давления) в бесцветную жидкость. Впервые синтезирован в 1963 году.
Фтори́д бро́ма(III) (трифтори́д бро́ма, трёхфто́ристый бром) BrF3 — соединение брома с фтором, представляющее собой при комнатной температуре подвижную бесцветную жидкость, иногда окрашенную желтовато-серым или соломенным цветом (за счёт разложения вещества с образованием бурого брома), дымящую на воздухе. Обладает сильным раздражающим запахом. В больших концентрациях ядовит.
Фтори́д хло́ра(I) — неорганическое бинарное соединение хлора с фтором.
Трифторид-хлорид кремния — неорганическое соединение, фтор- и хлорпроизводное моносилана с формулой SiClF3, бесцветный газ, реагирует с водой.
Дифторид-дихлорид кремния — неорганическое соединение, фтор- и хлорпроизводное моносилана с формулой SiCl2F2, бесцветный газ, реагирует с водой.
Фторид кремния(II) — бинарное неорганическое соединение кремния и фтора c формулой SiF2, устойчивое при низких температурах, при нагревании выше −80 °С полимеризуется до (SiF2)n — бесцветное вещество, самовоспламеняется на воздухе.
Трифторид-бромид кремния — неорганическое соединение, фтор- и бромпроизводное моносилана с формулой SiBrF3, бесцветный газ, реагирует с водой.
Дифторид-дибромид кремния — неорганическое соединение, фтор- и бромпроизводное моносилана с формулой SiBr2F2, бесцветный газ, реагирует с водой.
Фторид-трибромид кремния — неорганическое соединение, фтор- и бромпроизводное моносилана с формулой SiBr3F, бесцветная жидкость, реагирует с водой.
Трифторид-иодид кремния — неорганическое соединение, фтор- и иодпроизводное моносилана с формулой SiIF3, бесцветный газ, реагирует с водой.
Фторид-хлорид-дибромид кремния — неорганическое соединение, фтор-, хлор- и бромпроизводное моносилана с формулой SiBr2ClF, бесцветная жидкость, реагирует с водой.
Тетраизоцианат кремния — неорганическое соединение, соль кремния и изоциановой кислоты с формулой Si(NCO)4, бесцветные кристаллы, гидролизуется водой.
Дифторхлорсилан — неорганическое соединение, фтор- и хлорпроизводное моносилана с формулой SiHClF2, бесцветный газ.
Изоцианат силила — химическое соединение, изоцианопроизводное моносилана с формулой SiH3NCO, бесцветный газ.
Дифторид-диизоцианат кремния — химическое соединение, фтор- и изоцианопроизводное моносилана с формулой SiF2(NCO)2, бесцветная жидкость.
Фторид-триизоцианат кремния — химическое соединение, фтор- и изоцианопроизводное моносилана с формулой SiF(NCO)3, бесцветная жидкость.
Трихлорид-изоцианат кремния — химическое соединение, хлор- и изоцианопроизводное моносилана с формулой SiCl3NCO, бесцветная жидкость.
Дихлорид-диизоцианат кремния — химическое соединение, хлор- и изоцианопроизводное моносилана с формулой SiCl2(NCO)2, бесцветная жидкость.
Хлорид-триизоцианат кремния — химическое соединение, хлор- и изоцианопроизводное моносилана с формулой SiCl(NCO)3, бесцветная жидкость.