ПЗС-ма́трица, или CCD-ма́трица — специализированная аналоговая интегральная микросхема, состоящая из светочувствительных фотодиодов, выполненная на основе кремния, использующая технологию ПЗС — приборов с зарядовой связью.
Опти́ческие или фото́нные вычисли́тели — гипотетические вычислительные устройства, вычисления в которых производятся с помощью фотонов, излучаемыми лазерами или светодиодами.
Фотолитогра́фия — метод получения определённого рисунка на поверхности материала, широко используемый в микроэлектронике и других видах микротехнологий, а также в производстве печатных плат. Один из основных приёмов планарной технологии, используемой в производстве полупроводниковых приборов.
Электро́нно-лучева́я литогра́фия — метод нанолитография с использованием электронного пучка.
Интерферометрия — это семейство методов, в которых складываются волны, обычно электромагнитные, вызывая явление интерференции, которое используется для извлечения информации. Интерферометрия — это важный метод исследования в области астрономии, волоконной оптики, инженерной метрологии, оптической метрологии, океанографии, сейсмологии, спектроскопии, квантовой механики, ядерной физики и физики элементарных частиц, физики плазмы, дистанционного зондирования, биомолекулярных взаимодействий, профилирование поверхности, микрогидродинамике, измерения механических напряжений/деформаций, велоциметрии и оптометрии.
Фотошабло́н — стеклянная или иная пластина либо полимерная плёнка со сформированным на её поверхности рисунком элементов схем из материала, не пропускающего актиничное излучение.
Это список лазерных систем, на которых была достигнута мощность излучения более 100 ТВт. Все подобные системы основаны на применении технологии усиления чирпованных импульсов (CPA), однако различаются по типу используемых активных сред. Наиболее популярными являются лазеры на неодимовом стекле и на титан-сапфире. Имеются также несколько лазеров, основанных на оптическом параметрическом усилении чирпированных импульсов (OPCPA) в нелинейно-оптических кристаллах DKDP или LBO. Не некоторых лазерах также реализовано сжатие импульсов после усиления за счёт самомодуляционной нелинейности.
Коллимация — создание тонкого параллельно идущего потока излучения при помощи щелей, через которые он проходит. Коллимированный луч применяется в сцинтиграфии и при лучевой терапии. В оптике коллимированный свет производится т.н. коллиматором, обычно состоящим из фокусирующей линзы или параболического зеркала и точечного источника света, размещённого в фокальной плоскости линзы или зеркала.
Multi-Project Wafer — вариант микроэлектронного производства, когда на одной полупроводниковой пластине изготавливается одновременно несколько различных интегральных схем, разработанных разными командами. Полупроводниковое производство имеет высокую стоимость, особенно дорого обходится изготовление фотошаблонов. Поэтому возможность совместного использования фотошаблонов и пластин позволяет удешевить выпуск малых серий небольших устройств, разделив затраты между десятками заказчиков. MPW может использоваться для прототипирования, подобные чипы заказывают как коммерческие разработчики, так и студенты или исследователи. В мире действует несколько производителей, предлагающих MPW, среди которых есть государственные и частные организации, например, MOSIS, CMP, Europractice.
Степпер — литографическая установка, использующаяся при изготовлении полупроводниковых интегральных схем. На них проводится важнейший этап проекционной фотолитографии — засветка фоторезиста через маску. В процессе работы степпера рисунок с маски многократно переводится в рисунок на различных частях полупроводниковой пластины.
Фотолитография в глубоком ультрафиолете — вид фотолитографии в наноэлектронике. Считается одним из вариантов фотолитографии следующего поколения. Использует свет экстремального ультрафиолетового диапазона с длиной волны около 13,5 нм, т.е. почти рентгеновское излучение. Для создании рисунка используется лазерная импульсная плазма капель олова (Sn), отражающая фотомаска и экспонирование подложки, покрытой фоторезистом. В настоящее время он применяется только в самых передовых полупроводниковых устройствах.
Фазово-контрастная микроскопия — метод получения изображений в оптических микроскопах, при котором сдвиг фаз электромагнитной волны трансформируется в контраст интенсивности. Используется для получения изображений прозрачных объектов. Фазово-контрастную микроскопию изобрёл Фриц Цернике, за что получил Нобелевскую премию за 1953 год.
Ультрафиолетовая литография — субмикронная технология, используемая для изготовления полупроводниковых микросхем; один из подвидов литографического процесса с экспонированием фоторезиста «глубоким» или сверхжёстким ультрафиолетовым излучением.
Компью́терная томографи́ческая ла́зерная маммографи́я — вид оптической томографии для визуализации молочных желез в процессе диагностического обследования женщин. В свою очередь, CTLM является торговой маркой американской компании «Диагностические Системы Визуализации».
Вита́лий Бори́сович Воло́шинов — советский и российский физик, учёный в области акустооптики, заслуженный преподаватель Московского университета.
Освальд Йо́зеф Леруа́ — бельгийский математик, профессор Лёвенского католического университета, специалист по теоретической акустооптике.
Диодно-лазерная абсорбционная спектроскопия — метод измерения концентрации веществ в среде с использованием перестраиваемых диодных лазеров и учётом абсорбционных свойств самого вещества.
Нанолитография — это область техники в нанотехнологиях, связанная с разработкой структур нанометрового масштаба. В переводе с греческого это слово можно разделить на три части: «нано» — карлик, «лит» — камень и «графи» — писать или «крошечные буквы на камне». Сегодня это слово расширилось, чтобы охватывать проектирование структур в диапазоне от 10 −9 до 10 −6 метров или структур в нанометровом диапазоне. По сути, это поле является производным литографии, охватывающим только структуры значительно меньшего размера. Все нанолитографические методы можно разделить на две категории: те, которые вытравливают молекулы, оставляя желаемую структуру, и те, которые непосредственно записывают желаемую структуру на поверхность.
Алекса́ндр Па́влович Сави́цкий — российский учёный, специалист в области физической биохимии, доктор химических наук (1991), профессор (1995), лауреат премии правительства РФ в области науки и техники (2010). Заведует лабораторией физической биохимии в Федеральном исследовательском центре «Фундаментальные основы биотехнологии» РАН, читает курсы лекций по методам биохимии и флуоресцентной спектроскопии на Химическом факультете МГУ им. М.В. Ломоносова.
