Техноло́гия — совокупность методов и инструментов для достижения желаемого результата; в широком смысле — применение научного знания для решения практических задач. Технология включает в себя способы работы, режимы работы, последовательность действий — то есть отвечает на вопрос «как, каким образом, с помощью чего» можно что-либо сделать.
Фотолитогра́фия — метод получения определённого рисунка на поверхности материала, широко используемый в микроэлектронике и других видах микротехнологий, а также в производстве печатных плат. Один из основных приёмов планарной технологии, используемой в производстве полупроводниковых приборов.
Интегра́льная схе́ма (ИС); интегра́льная микросхе́ма (ИМС), микросхе́ма — микроэлектронное устройство — электронная схема произвольной сложности (кристалл), изготовленная на полупроводниковой подложке и помещённая в неразборный корпус или без такового в случае вхождения в состав микросборки. Микросхемы также часто называют словом чип.
DuPont de Nemours, «Дюпо́н де Немур» — американская химическая компания, одна из крупнейших в мире. Штаб-квартира находится в Уилмингтоне. В современном виде возникла в 2019 году после обмена активами с Dow Chemical.
Кремний на изоляторе — технология изготовления полупроводниковых приборов, основанная на использовании трёхслойной подложки со структурой кремний-диэлектрик-кремний вместо обычно применяемых монолитных кремниевых пластин. Данная технология позволяет добиться существенного повышения быстродействия микроэлектронных схем при одновременном снижении потребляемой мощности и габаритных размеров. Так, например, максимальная частота переключения транзисторов (Ft), выполненных по технологическому процессу 130 нм, может достигать 200 ГГц. В перспективе, при переходе к технологическим процессам с меньшим размером активных элементов, возможно ещё большее повышение этого показателя. Кроме собственно наименования технологии, термин «кремний на изоляторе» также часто употребляется в качестве названия поверхностного слоя кремния в КНИ-структуре.
Полупроводнико́вая пласти́на — полуфабрикат в технологическом процессе производства полупроводниковых приборов, микросхем и фотогальванических элементов.
Solid Logic Technology (SLT) — гибридная технология компоновки микроэлектронных схем на основе изолированных плоских, капсулированных в стекло, транзисторов и диодов, с экранированными шёлком резисторами на керамической основе. IBM представила её в 1964 году в новом мейнфрейме IBM System/360. SLT заменила существовавшую ранее Standard Modular System (SMS).
Электро́нно-лучева́я литогра́фия — метод нанолитография с использованием электронного пучка.
Планарная технология — совокупность технологических операций, используемых при изготовлении планарных полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. Процесс включает в себя формирование отдельных компонентов транзисторов, а также объединение их в единую структуру. Это основной процесс при создании современных интегральных схем. Данная технология была разработана Жаном Эрни, одним из членов «вероломной восьмёрки», во время работы в Fairchild Semiconductor. Технология впервые была запатентована в 1959 году.
Евге́ний Дми́триевич Щу́кин — советский и российский учёный в области физической химии, доктор физико-математических наук, профессор, лауреат Ленинской премии, академик РАО (1993).
Фотошабло́н — стеклянная или иная пластина либо полимерная плёнка со сформированным на её поверхности рисунком элементов схем из материала, не пропускающего актиничное излучение.
Технологический процесс полупроводникового производства — технологический процесс по изготовлению полупроводниковых (п/п) изделий и материалов; часть производственного процесса по изготовлению п/п изделий ; состоит из: последовательности технологических и контрольных операций.
Multi-Project Wafer — вариант микроэлектронного производства, когда на одной полупроводниковой пластине изготавливается одновременно несколько различных интегральных схем, разработанных разными командами. Полупроводниковое производство имеет высокую стоимость, особенно дорого обходится изготовление фотошаблонов. Поэтому возможность совместного использования фотошаблонов и пластин позволяет удешевить выпуск малых серий небольших устройств, разделив затраты между десятками заказчиков. MPW может использоваться для прототипирования, подобные чипы заказывают как коммерческие разработчики, так и студенты или исследователи. В мире действует несколько производителей, предлагающих MPW, среди которых есть государственные и частные организации, например, MOSIS, CMP, Europractice.
ASML — нидерландская компания, крупнейший производитель литографического оборудования для микроэлектронной промышленности, необходимого в том числе для изготовления СБИС, микросхем памяти, флеш-памяти, микропроцессоров.
Степпер — литографическая установка, использующаяся при изготовлении полупроводниковых интегральных схем. На них проводится важнейший этап проекционной фотолитографии — засветка фоторезиста через маску. В процессе работы степпера рисунок с маски многократно переводится в рисунок на различных частях полупроводниковой пластины.
Фотолитография в глубоком ультрафиолете — вид фотолитографии в наноэлектронике. Считается одним из вариантов фотолитографии следующего поколения. Использует свет экстремального ультрафиолетового диапазона с длиной волны около 13,5 нм, т.е. почти рентгеновское излучение. Для создании рисунка используется лазерная импульсная плазма капель олова (Sn), отражающая фотомаска и экспонирование подложки, покрытой фоторезистом. В настоящее время он применяется только в самых передовых полупроводниковых устройствах.
GlobalFoundries Inc. — транснациональная компания, занимающаяся контрактным производством полупроводниковых интегральных микросхем. GlobalFoundries была создана в 2009 году на основе производственного подразделения компании AMD, затем расширена путём слияния в 2010 году с сингапурской компанией Chartered Semiconductor Manufacturing. Формально зарегистрирована на Каймановых островах, штаб-квартира расположена в городке Мальта, штат Нью-Йорк, США. Ключевой акционер — Mubadala Investment Company.
Semiconductor Manufacturing International Corporation (SMIC) — китайская компания, занимающаяся производством микроэлектроники, крупнейшая микроэлектронная компания континентального Китая.
Жёсткий диск — запоминающее устройство произвольного доступа, основанное на принципе магнитной записи. Является основным накопителем данных в большинстве компьютеров.
Applied Materials — американская компания, поставляющая оборудование, услуги и программное обеспечение для производства полупроводниковых (интегральных) микросхем и плоскопанельных дисплеев. Штаб-квартира компании располагается в Санта-Кларе, штат Калифорния, в Кремниевой долине.
